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最早是比較法，比較法呢，一般用于中等或者比較粗糙表面的測量。方法就是把被測量表面和標有一定數值的粗糙度樣板放到一起，用視覺來進行比較，從而確定粗糙度。這種方法不夠準確，很大程度上取決于檢驗人員的經驗。
然后是光切法：光切法是利用"光切原理"來測量表面粗糙度，在實驗室中用光切顯微鏡或者雙管顯微鏡可以實現測量，但是方法很繁瑣，因此不常用。
接下來干涉法，利用光波干涉原理和顯微放大原理，將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量。這種方法調整儀器比較麻煩，不太方便，準確度和光切顯微鏡差不多。
最后是觸針法，又稱針描法，是一種接觸式測量方法，也是現在常用的測量方法，是利用儀器的測針在被測表面上輕輕劃過，以測量表面粗糙度。可以測量許多形狀的被測表面，比如軸類，孔類，錐體，球類，溝槽類工件，測量方便快捷，讀數精準。還分為便攜式和臺式，便攜式粗糙度儀可以在現場進行測量，攜帶方便；
